4月13日消息，近日東方晶源首臺8英寸關鍵尺寸量測裝備(CD-SEM)出機國內知名集成電路制造和整體方案提供商燕東微電子。自2021年6月首臺12英寸CD-SEM出機，時隔短短9個月，東方晶源在電子束量測領域再次取得重大進展，彰顯出深厚的技術實力、豐富的市場化經驗以及快速的研發能力。此次出機，將進一步夯實東方晶源在國內電子束檢測、量測市場的領先地位。

東方晶源首臺8英寸關鍵尺寸量測設備(型號：SEpA-c300)基于東方晶源12英寸關鍵尺寸量測設備的技術積累，面向90nm以上技術節點的成熟工藝。具有對標12英寸主流設備的成像分辨率、百微米級大視場成像能力、多樣化量測算法，可以滿足客戶對不同產品線、多種應用場景下的量測需求。進駐燕東微電子后，將通過實際產線驗證，進一步提升、完善設備性能，助力客戶提供更具競爭力的產品，提高服務能力。

近年來，受下游需求影響，8英寸晶圓代工廠產能持續緊缺。但由于12英寸已經逐漸成為了主流尺寸，半導體設備廠商也將業務重心向12英寸廠傾斜，設備短缺成為當下8英寸廠擴產的難點之一。以關鍵尺寸量測設備為例，目前市場上流通的8英寸設備絕大多數是二手翻新設備，具有性能指標不高及設備穩定性差等問題。東方晶源洞悉到晶圓代工廠這一痛點，充分發揮在電子束檢測、量測領域的技術優勢，積極響應，快速推出8英寸關鍵尺寸量測設備，成功解決產業又一難題，對推動我國半導體產業穩定發展具有重大意義。

隨著半導體工藝節點不斷向前推進，電子束檢測的重要性愈加凸顯。東方晶源憑借先發優勢以及強大的研發投入，在電子束檢測、量測領域積累了雄厚的技術實力，成績斐然。承擔國家02重大專項——電子束硅片圖形缺陷檢測設備研發與產業化項目并驗收通過;首臺套電子束缺陷檢測設備(EBI)已完成產線驗證并獲得重復訂單;加速推出多款關鍵尺寸量測設備并取得多個訂單。東方晶源在電子束檢測、量測領域不斷取得重要產品技術突破，填補多項國內相關領域空白。

目前，東方晶源已經和國內大部分有市場影響力的晶圓代工企業建立了合作關系，得到行業和客戶的高度認可。未來，東方晶源將繼續堅持以客戶為中心，不斷加強研發投入，擴大在國內電子束檢測、量測領域的領先優勢。同時，與上下游企業攜手，共同推動我國半導體產業鏈實現全面自主可控，配合國家實現在半導體產業的戰略布局。

關鍵詞： 研發能力 提高服務能力 領先地位 重大意義